洁净度5级 cleanliness class 5

  环境空气中大于等于0.5um的微粒数大于350粒/m³（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m³(3.5粒/L)；大于等于5um的微粒数为0粒/L的空气洁净程度。相当于原100级。

洁净度6级 cleanliness class 6

  环境空气中大于等于0.5um的微粒数大于3500粒/m³(3.5粒/L）到小于等于35200粒/m³（35.2粒/L)；大于等于5um的微粒数小于等于293粒/m³（0.3粒/L）的空气洁净程度。相当于1000级。

洁净度7级 cleanliness class 7

  环境空气中大于等于0.5um的微粒数大于35200粒/m³(35.2粒/L）到小于等于352000粒/m³（352粒/L)；大于等于5um的微粒数小于等于293粒/m³（0.3粒/L）到小于等于2930粒/m³(3粒/L)的空气洁净程度。相当于10000级。

洁净度8级 cleanliness class 8

   环境空气中大于等于0.5um的微粒数大于352000粒/m³(352粒/L）到小于等于3520000粒/m³（3520粒/L)；大于等于5um的微粒数小于等于2930粒/m³（3粒/L）到小于等于29300粒/m³(29粒/L)的空气洁净程度。相当于100000级。

洁净度8.5级 cleanliness class 8.5

     环境空气中大于等于0.5um的微粒数大于3520000粒/m³(3520粒/L）到小于等于11120000粒/m³（11120粒/L)；大于等于5um的微粒数小于等于29300粒/m³（29粒/L）到小于等于92500粒/m³(93粒/L)的空气洁净程度。相当于30万级。